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VT6000共聚焦工件表面微觀(guān)形貌檢測(cè)顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

VT6000三維光學(xué)輪廓共聚焦材料顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，可對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。可測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器VT6000共聚焦晶圓溝槽輪廓尺寸測(cè)量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

VT6000高分辨率共焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，主要采用3D捕獲的成像技術(shù)顯微成像測(cè)量，具有較高的三維圖像分辨率。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000大傾角超清納米共聚焦測(cè)量顯微鏡用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它是基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

中圖儀器VT6000高分辨率共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。