中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學輪廓儀器以白光干涉技術為原理,能夠以優于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。
中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸,不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。
中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀設備載物臺(XY)局部位移精度和線性精度為亞微米,Z向運動精度可達數納米,線性精度可達亞納米級別。
W1光學輪廓儀是通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
3d光學輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中。
SuperViewW1光學輪廓儀器廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。
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