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CEM3000自主化SEM掃描電鏡采用鎢燈絲電子槍，其電子槍發射電流大、穩定性好，以及對真空度要求不高，使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時間內達到穩定的工作狀態并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測效率，節省了時間成本，特別適用于需要快速獲取結果的應用場景.

VT6000系列納米級共聚焦成像顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，保證儀器的高測量精度。主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。

SuperViewW系列高精度光學輪廓白光干涉儀以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

不同于立式電鏡，中圖SEM掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。

CEM3000實驗室高抗振防磁掃描電鏡空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調節，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設計，讓用戶在使用時不再等待，且全系列可選配低真空系統，以便精準調節樣品倉內真空度，滿足不同樣品的觀測需求。

NS系列高精度探針接觸式臺階儀單拱龍門式設計，結構穩定性好，而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。