SuperViewW高精度3D白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
不同于立式電鏡,CEM3000系列緊湊型臺式掃描電鏡設(shè)備無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。
CEM3000材料科學(xué)掃描電鏡憑借其簡便的操作系統(tǒng),讓復(fù)雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
VT6000系列共聚焦大傾角粗糙度測量顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
中圖儀器CEM3000自主研發(fā)臺式掃描電鏡采用的鎢燈絲電子槍,發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好,以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。
NS系列精密接觸式臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設(shè)計的超精密接觸式儀器,通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
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