?SuperViewW系列3d輪廓一鍵測量儀也叫白光干涉儀是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域,除了白光干涉儀,其它儀器達不到檢測的精度要求。
SJ5718-PR一鍵式輪廓度測量儀器除了具有高科技含量外,還將測試表面粗糙度和表面輪廓兩種功能有機地設計在同一臺儀器上,其輪廓及粗糙度測量功能可互換,更適合于深孔測量的粗糙度模塊,是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。
?中圖儀器輪廓測量儀SuperViewW1是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀器的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。
SJ5700DUAL掃描粗糙度輪廓測量儀具有精度高、操作方便易用、功能強大、智能防護、智能接觸等優點,一次測量即可自動記錄和顯示任意位置螺紋數據及各種螺紋參數,自動生成被測螺紋的曲線圖、相關參數數據和圖表,儀器配備各種專業的現場工件工裝夾具,非常適合各種生產線螺紋工件、絲杠、軸類、筒類、大曲面零件以及特殊多段螺紋的在線測量。
SJ5700DUAL國產表面粗糙度輪廓測量儀器是一種高精度的工件表面粗糙度、輪廓測量分析儀器,可以全量程大范圍連續掃描,擁有長達數百毫米的持續爬坡能力,非常適合大范圍陡坡表面測量,大工件無需翻轉、傾斜調整,就可實現輕松測量。
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